公司成立于2010年4月,是国家高新技术企业。公司在北京、上海、海宁、沈阳和美国及日本成立子公司。公司已形成一支国际化的专业团队,具备高科技研发实力及管理经验。公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务。主要产品:PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD等薄膜设备产品。企业荣誉:2017中国半导体设备五强企业、2017辽宁省科学技术奖励证书等。