關於微導納米公司

公司成立於2015年12月。公司形成了以原子層沉積(ALD)技術爲核心,CVD等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系。公司業務涵蓋集成電路、光伏、LED,及MEMS等泛半導體相關領域,以及新能源和柔性電子領域。公司是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備製造商,研發生產的高端薄膜沉積設備廣泛應用於半導體晶圓、光伏電池片生產的關鍵環節,薄膜性能直接影響半導體器件性能以及電池片的光電轉換效率。公司產品主要包括iTomic系列原子層沉積鍍膜系統、iTomicMW系列批量式原子層沉積鍍膜系統、iTomicLite系列輕型原子層沉積鍍膜系統、iTomicPE系列等離子體增強原子層沉積鍍膜系統、iTronix系列化學氣相沉積鍍膜系統、Trancendor系列晶圓真空傳輸系統、夸父(KF)系列批量式ALD系統、祝融(ZR)系列管式PEALD/PECVD系統、羲和(XH)系列高溫低壓系統、后羿(HY)系列板式ALD系統、iSparol系列卷對卷ALD系統。企業榮譽:工信部專精特新小巨人企業、蘇南國家自主創新示範區獨角獸企業、江蘇省小巨人企業(製造類)、“無錫市最佳聚才單位”“優秀僱主獎”、“高層次人才引進貢獻獎”、榮獲國家級知識產權優勢企業、無錫市專利獎、無錫市知識產權戰略推進項目、無錫市高新區(新吳區)知識產權強企培育企業等榮譽稱號。